離線式晶圓超聲掃描顯微鏡
系統內無金屬污染，配置微型環境（FFU）封裝設計
滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求
支持高精掃描、快速掃描
可定制晶圓載具
可選配雙探頭
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